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超高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡

儀器名稱:超高分辨冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡

品牌:  日立

型號:SU9000II

產(chǎn)地:日本

儀器介紹:

一.儀器特點(diǎn):

1. 內(nèi)透鏡物鏡設(shè)計,像差小,可實(shí)現(xiàn)超高倍觀察(SE分辨率:0.4nm@30kV),低電壓成像能力優(yōu)異(SE分辨率:1nm@1kV);

2. 全場的冷場發(fā)射電子槍,具有Mild Flash技術(shù);

3. 采用樣品桿進(jìn)樣,快速更換樣品,高效穩(wěn)定;

4. STEM和EDS性能優(yōu)異,也可選配電子衍射和EELS。


二.主要用途:

兼具了掃描電鏡和部分透射電鏡的功能,主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、納米材料、催化劑等領(lǐng)域。


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