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多功能高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

儀器名稱:多功能高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

品牌:  日立

型號:SU7000

產(chǎn)地:日本

儀器介紹:

一.儀器特點:

1. 電磁混合透鏡,具有極高分辨能力:0.9nm@1kV;

2. 多探測器組合,可獲取材料表面凹凸和高分辨率形貌、組分、結晶、熒光等眾多信息;

3. 可在6mm分析工作距離同時進行各類探測器觀察和EDS分析,效率極高;

4. 無漏磁物鏡設計,具有大開倉設計,可拓展各類分析附件。


二.主要用途:

兼具了高分辨和分析能力的綜合型場發(fā)射掃描電鏡,可獲取材料多種高分辨信息,用于納米技術、半導體、電子器件、金屬、生命科學、新材料等領域。


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