儀器名稱：白光干涉儀

品牌:  布魯克

型號：ContourX-200

產(chǎn)地：美國

儀器介紹：

1. 采用白光干涉原理成像，具備白光和綠光LED雙光源；

2. 臺階高度誤差：≤0.75%；

3. 臺階高度測試重復(fù)性：≤0.1%；

4. 粗糙度測試RMS重復(fù)性：≤0.01nm；

5. 自動(dòng)樣品臺：XY方向移動(dòng)范圍≥150mm×150mm；

6.用于觀察和分析各種材料（金屬、陶瓷、半導(dǎo)體等）表面的粗糙度，粒度，面型，平面度，特征尺寸等微觀結(jié)構(gòu)，通過分析材料的微觀尺寸與宏觀性質(zhì)之間的關(guān)系，從而得到最優(yōu)化的材料加工工藝和參數(shù)，在科學(xué)研究，產(chǎn)品開發(fā)，工藝控制，失效分析中有廣泛的應(yīng)用。